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高频磁控溅射_关于高频磁控溅射简述 聚看点

来源:元宇宙网    时间:2023-04-29 20:04:27


(资料图片)

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1、通过电极间施加高频电压获得高频放电而使靶极获得负电位的磁控溅射。

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